在此，介紹一下與滑動(dòng)導(dǎo)軌相比，精度要高很多的直動(dòng)導(dǎo)向的尖端技術(shù)概要。

移動(dòng)電話的液晶顯示屏和PC用顯示器等顯示高精細(xì)圖像的商品其關(guān)鍵部件，要求具有亞微米級(jí)（例如0.3μm以下）的公差精度。這種關(guān)鍵部件很多是由超精密金屬模具制作后再進(jìn)行量產(chǎn)的。對(duì)于這種超精密金屬模具的加工，是使用可實(shí)現(xiàn)亞微米級(jí)精度的超精密加工設(shè)備。

超精密加工設(shè)備具有代表性的直動(dòng)導(dǎo)向

超精密加工設(shè)備的直動(dòng)導(dǎo)向結(jié)構(gòu)可分成以下2種。

a）接觸式滑動(dòng)導(dǎo)向????軌道與可動(dòng)體接觸，并活動(dòng)。

b）非接觸式滑動(dòng)導(dǎo)向???軌道與可動(dòng)體在非接觸狀態(tài)下活動(dòng)。

（a）關(guān)于接觸式滑動(dòng)導(dǎo)向

·【照片1】所示的是用于超精密加工設(shè)備，具有代表性的接觸式滑動(dòng)導(dǎo)向的結(jié)構(gòu)。由熟練工通過手工精加工方式進(jìn)行刮鏟操作（【照片2】），由此進(jìn)行精加工，最終形成V槽形狀的滑動(dòng)導(dǎo)向。在該導(dǎo)向上，配置有超精密級(jí)的滾柱軸承。

·在采用刮鏟方式進(jìn)行精加工所形成的V槽導(dǎo)向上，設(shè)置滾柱軸承和上部可動(dòng)體，并用測(cè)量器具進(jìn)行精度測(cè)定，以不斷縮小誤差。此一操作反復(fù)進(jìn)行。

·該直動(dòng)導(dǎo)向的結(jié)構(gòu)為，使用滾珠絲杠來進(jìn)行驅(qū)動(dòng)。但為了要避免滾珠絲杠的撓曲所產(chǎn)生的，朝向上下左右方向的誤差，滾珠絲杠螺母部使用平行彈簧來固定住，僅傳遞直動(dòng)方向的推力。

（b）關(guān)于非接觸式滑動(dòng)導(dǎo)向

  ·【照片3】是將用于精密平臺(tái)的花崗巖石材用于結(jié)構(gòu)材料的，空氣軸承的外觀圖片。

·花崗巖石材是天然材料，因此，可忽視經(jīng)年變化。對(duì)熱變形不敏感，并可吸收振動(dòng)。由于存在這一類特性，因此被選定。

·空氣軸承的作用是在6μm左右的間隙釋放出空氣，并利用該氣壓，在非接觸狀態(tài)下，構(gòu)成超精密直動(dòng)導(dǎo)向。

·直動(dòng)導(dǎo)向軌道為凸?fàn)畹膲K，它的最終精度也是采用手工拋光加工方式進(jìn)行的拋光加工。

·可動(dòng)部的空氣墊設(shè)計(jì)對(duì)于空氣剛性和避免產(chǎn)生共振來說是重要的（【照片4】）

·【照片3】中的銀色長(zhǎng)方體為直線電機(jī)。

·通過采用空氣軸承和直線電機(jī)來構(gòu)成完全非接觸滑動(dòng)導(dǎo)向。

在這種超精密驅(qū)動(dòng)控制的世界里，要求具有周邊溫度的穩(wěn)定控制（例如±0.1℃）、外部振動(dòng)的完全隔斷所需的獨(dú)立基礎(chǔ)結(jié)構(gòu)和無(wú)塵等的環(huán)境控制。